MEMS là tên viết tắt của hệ thống động cơ vi mô. Kích thước thu nhỏ riêng lẻ của thành phẩm ở mức milimet hoặc thậm chí là micrômet. Nó được sử dụng rộng rãi trong truyền thông 5G, giám sát an ninh, tự động hóa công nghiệp, điện tử ô tô và các lĩnh vực khác. Ở giai đoạn này, có thể nói hầu hết tất cả các sản phẩm điện tử đều được áp dụng MEMS.
Ưu điểm của thiết bị MEMS: kích thước nhỏ, trọng lượng nhẹ, dễ dàng tích hợp, tiêu thụ điện năng thấp, độ nhạy cao và nhiều ưu điểm khác. Và có thể được sản xuất hàng loạt. Mặc dù nó có thể được sản xuất hàng loạt, nhưng bao bì MEMS không phải là phổ biến. Theo các loại chức năng khác nhau của các thành phần MEMS, cấu trúc thành phần và phương pháp đóng gói khác nhau, và loại chuyên dụng cao hơn.
Công nghệ lắp ráp cấp chip được sử dụng phổ biến ở giai đoạn này. Đương nhiên, có những yêu cầu khá nghiêm ngặt về độ chính xác lắp ráp, môi trường hoạt động và phương pháp căn chỉnh.
Khó khăn của lắp ráp cấp chip MEMS
1. Tiêu chuẩn đóng gói chính xác cao
Phần mềm hệ thống MEMS bao gồm một giao diện tín hiệu dữ liệu độc đáo, vỏ, tường bên trong và các cấu trúc khác, làm tăng độ khó của việc kiểm soát vị trí và góc trong quá trình chọn và đặt trong toàn bộ quá trình liên kết dây của các thành phần MEMS và chất nền đa chức năng.
2. Vật liệu mỏng manh và dễ bị hỏng
Các thiết bị MEMS, chẳng hạn như vi gia tốc kế, động cơ vi mô, v.v., thường có cấu trúc cơ học như hốc hoặc công xôn được tích hợp sẵn. Những cấu trúc này có kích thước nhỏ và độ bền cơ học nhỏ hơn nhiều so với chip IC. Chúng rất dễ bị va chạm vật lý trong quá trình lắp ráp và các quá trình khác.
Nhiều bộ phận của thiết bị MEMS không chỉ có kích thước nhỏ mà còn mỏng manh và dễ vỡ, chẳng hạn như rãnh sâu và các cung, vì vậy áp lực làm việc được áp dụng trong quá trình liên kết là rất quan trọng. Nếu áp suất làm việc quá nhỏ, kết nối sẽ không chặt chẽ; Nếu áp suất làm việc quá cao, các bộ phận sẽ bị hỏng.
Có thể thấy rằng mức độ chính xác chính xác và biên độ liên kết là điều kiện cần thiết để nâng cao tỷ lệ vượt qua của việc lắp đặt bộ thu phát tần số vô tuyến MEMS.
Khi độ dày của thiết bị MEMS nằm trong khoảng 50-150μm, áp suất làm việc liên kết dây được chọn là từ 50-100g và độ dịch chuyển xoay phải nhỏ hơn 0,3 °, để có thể giảm thiệt hại cho các bộ phận ở mức độ lớn , và việc tuân thủ có thể được cải thiện. Tỷ lệ.
Căn chỉnh chính xác cao, loại bản vá, để đảm bảo tỷ lệ vượt qua
Phản hồi mức micron để có được thông tin dữ liệu chính xác, độ chính xác điều khiển lực ± 0,01N, mức chính xác lặp lại tuyến tính ± 2μm, mức độ chính xác lặp lại vòng quay ± 0,01 °, độ lệch xuyên tâm nhỏ hơn 10μm, đặc điểm kỹ thuật độ phân giải bộ mã hóa 1μm, có sẵn ở đầu ra Ổn định ngay cả dưới mức cao -tốc độ hoạt động, cải thiện tỷ lệ chất lượng và sự ổn định.
Hút chân không, áp suất làm việc có thể kiểm soát, giảm tiêu thụ
Động cơ quay tuyến tính Guoao sử dụng thiết kế trục Z rỗng, ổ cắm khí quản dành riêng, hút chân không, cắm và chạy và có thể cung cấp các dịch vụ tùy chỉnh dựa trên cấu trúc và đặc điểm của các bộ phận;
Chứa" hạ cánh mềm" chức năng, có thể hoàn thành việc kiểm soát lực ổn định trong phạm vi ± 1,5g và có thể tùy chỉnh các thông số như tốc độ, gia tốc và điều khiển lực, để đầu định vị có thể chạm vào các thành phần MEMS với áp suất làm việc rất chính xác, giảm sự cạn kiệt.
& quot; Z + R" thiết kế tích hợp trục để tăng tốc độ
Giải pháp tích hợp hai trục sáng tạo kết hợp" động cơ servo + vít bi" thành một, có thể xử lý tốt vấn đề tải trọng tự trọng của trục Z và thành phần hoàn chỉnh Pick& Đặt, sắp xếp và các hành động khác ở tốc độ và độ chính xác cao. Lực đẩy Đường cong mượt mà, lực đẩy tối đa là 8-50N, hành trình hiệu quả là 10-50mm và vòng đời cực cao cho phép sản xuất hiệu quả.
